臭氧分析儀主要由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。此儀器采用了紫外線吸收法，單點光源、雙光路檢測、體積小、**度高、穩定性好、可以連續工作；臭氧分析儀其測量范圍寬，*大測量范圍300 O3 g/m。另外，該檢測儀還具有0/4—20 mA模擬輸出，可以與臭氧發生器，PID調節器組成臭氧閉環自動控制系統。
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